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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)팝스 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-07 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500017419 |
과제고유번호 | 1425067365 |
사업명 | 창업성장기술개발 |
DB 구축일자 | 2015-11-10 |
키워드 | 수소분리.팔라디움합금박막.비평형 플라즈마.플라즈마 증착.Knudsen막. |
□개발목표
계 획
대기압 플라즈마 증착방법과 다공성 금속기판 제조기술을 사용하여 Pd 합금박막의 두께를 10 마이크론(μm)이하로 줄이고 수소가스의 투과효율이 1초 1평방미터 당 0.2 리터 이상 되는 수소 분리막 제조
실 적
다공성 니켈foam과 닉켈분말을 사용하여 두께가 0.3μm인 기판제조.
그 표면에 플라즈마 증착으로 두께가 10 μm 이하인 Pd합금박막 제조. 투과효율 목표치 달성.
□정량적 목표항목 및 달성도
평가항목(1. 금속기판의 기공크기),목표치( < 0.2 μm),실적( < 0
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