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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국세라믹기술원 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-12 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500017835 |
과제고유번호 | 1425070801 |
사업명 | 연구장비활용기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-11-10 |
□ 개발목표
계 획:
- 스퍼터링 공정에 의한 LED용 plasma damage free ITO 투명전극증착기술 개발
- 투명전극의 광특성 향상 기술 (광투과도 90% 이상)
- 투명전극의 전기적 특성 향상기술 (면저항 20 Ω/□ 이하)
실 적:
- RF-DC 스퍼터링 공정에 의한 LED용 plasma damage free ITO 전극 증착기술 개발 완료
- ITO 전극의 광특성 향상 기술 (광투과도: 94.71%)
- ITO 전극의 전기적 특성 향상기술 (면저항 18.
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