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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science |
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연구책임자 | 김종안 |
참여연구자 | 박정재 , 엄태봉 , 김종안 , 서호성 , 진종한 , 정돈영 , 안흘비 , 강주식 , 이재용 , 김명순 |
보고서유형 | 연차보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-10 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 미래창조과학부 KA |
사업 관리 기관 | 한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science |
등록번호 | TRKO201600001263 |
과제고유번호 | 1711034498 |
사업명 | 한국표준과학연구원운영경비 |
DB 구축일자 | 2016-05-14 |
키워드 | 진원도.단차.두께.레이저 트랙커.평면도.디옵터.Roundness.Step height.Thickness.Laser tracker.Flatness.Diopter. |
연구목표:
◦ 국가 주력산업의 측정표준 수요에 대응하기 위한 차세대 길이/형상 측정표준기술개발
- 신규 표준 개발 3건
웨이퍼 두께/형상 기준 시편의 측정표준, 레이저 트랙커 측정표준 개발, 검안용렌즈 디옵터 측정표준 개발
- CMC 향상 2건
단차 표준물, 진원도 표준 시편의 측정표준 CMC 향상
- 기술 개발 1건
PMD를 이용한 국소결함 검출 및 굴곡 형상화
연구내용:
◦ 1년차 연구내용
⋅ 진원도 표준 시편의 측정표준 CMC 향상
- 회전 테이블 부
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