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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 이호재 |
참여연구자 | 이상선 , 전우주 , 최영국 , 김명복 , 나은주 , 김로사 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-01 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 미래창조과학부 KA |
사업 관리 기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO201600001921 |
과제고유번호 | 1711034270 |
DB 구축일자 | 2016-05-21 |
키워드 | 이중구조피조우간섭계,웨이퍼평탄도Tandem Fizeau Interferometer,Wafer Flatness |
2. 개발결과 요약
□ 핵심기술
간섭계 설계 및 제작 기술, 대구경광하계 제작기술, 신호분석기술
□ 개발의 목표
대구경 사파이어(Al2O3) 기판의 평탄도 측정기술 개발
□ 개발내용 및 결과
○ 점광원에 대한 대구경 시준미러 설계 및 제작
▸ 조명광학계 정렬 및 성능평가
○ 간섭무늬 결상광학모듈 설계 및 시제품 제작
▸ 초점심도, 배율, 이미지센서를 고려한 결상광학모듈 설계 및 제작
▸ 위상천이(Phase Shifting)를
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