초록 ▼

2. 개발결과 요약

핵심기술
◦ 나노기술집적센터 구축 기술, 장비 인프라를 활용한 나노·광소재부품기업의 시제품제작 및 특성평가 지원, 기술지도 및 전문기술 정보제공, 인력양성 등을 통한 관련 산업 활성화

개발의 목표
◦ 수요대응형 고도기술지원 16건, 시제품 상용화 종합지원 10건 달성
◦ 144,000천원 이상의 기술지원 수임료 창출

개발내용 및 결과
◦ Clean Room을 활용한 시험생산 지원
- 활용장비 : Sputter, PECVD, ICP-Etcher 등

2. 개발결과 요약

핵심기술
◦ 나노기술집적센터 구축 기술, 장비 인프라를 활용한 나노·광소재부품기업의 시제품제작 및 특성평가 지원, 기술지도 및 전문기술 정보제공, 인력양성 등을 통한 관련 산업 활성화

개발의 목표
◦ 수요대응형 고도기술지원 16건, 시제품 상용화 종합지원 10건 달성
◦ 144,000천원 이상의 기술지원 수임료 창출

개발내용 및 결과
◦ Clean Room을 활용한 시험생산 지원
- 활용장비 : Sputter, PECVD, ICP-Etcher 등
◦ 반도체/디스플레이 단위 공정 지원
- 스마트 윈도우용 투명전극, 유연태양전지용 전극 및 반사막, 터치용 금속전극, 고 종횡비 도파로 공정, 박막 봉지용 무기박막 등
- 활용장비 : Sputter, PECVD, Evaporator, ICP-Etcher, ALD 등
◦ 광소재 시험평가 지원
- OLED용 유기소재, 박막봉지용 무, 유기소재 등
- 활용장비 : Organic evaporator, 광특성평가장비 (적분구, 광속 측정기 등), TFE (Thin film encapsulation)
◦ 박막소자 재료물성시험 종합기술지원
◦ 광도파로 기반기술 및 응용기술 구축
◦ 나노·광관련 재료물성/정밀측정/설계 및 해석 등의 기술정보제공 및 DB지원