최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
DataON 바로가기다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
Edison 바로가기다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
Kafe 바로가기주관연구기관 | (주)에스팩솔루션 |
---|---|
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-06 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201600002878 |
과제고유번호 | 1711020427 |
사업명 | 추가연구개발특구육성 |
DB 구축일자 | 2016-06-11 |
키워드 | 적외선 센서.열영상 시스템.하이브리드 패키지.실리콘 윈도우. |
핵심기술
MEMS Bolometer(볼로메타) 기술 및 CMOS 검출회로 기능을 갖는 적외선 센서와 고진공 비냉각형 패키지에 대한 새로운 구조를 제안하고 주요재료 및 공정개발을 통하여 제조비용을 낮추고 생산성을 높이는 것을 목적으로 하는 하이브리드 패키지 기술
개발내용 및 결과
◎ 1차년에는 Open tool형 세라믹패키지와 Metal Package의 장점만을 조합한 하이브리드타입의 패키지를 개발하면서 단위공정을 개발하고 셋업함.
◎ 2차년도에는 세라믹 패키지를 제작하고 사이즈가 최적화 된 보급형 적외선
핵심기술
MEMS Bolometer(볼로메타) 기술 및 CMOS 검출회로 기능을 갖는 적외선 센서와 고진공 비냉각형 패키지에 대한 새로운 구조를 제안하고 주요재료 및 공정개발을 통하여 제조비용을 낮추고 생산성을 높이는 것을 목적으로 하는 하이브리드 패키지 기술
개발내용 및 결과
◎ 1차년에는 Open tool형 세라믹패키지와 Metal Package의 장점만을 조합한 하이브리드타입의 패키지를 개발하면서 단위공정을 개발하고 셋업함.
◎ 2차년도에는 세라믹 패키지를 제작하고 사이즈가 최적화 된 보급형 적외선 검출기를 제작함.
◎ 센서/게터/Gas Sensor 가 내장된 하이브리드형 패키지 개발 및 진공도 10-3 torr 및 Upgrade된 64x64 센서 Array수의 열영상 센서 제작함.
◎ 1 PPM 이하의 Leak 품질 및 진공도 수명 10년 가능한 센서공정 확보
기술개발 배경
◎ 적외선 카메라는 일부 선진국가의 독점기술로서 국내의 경우 전량 수입에 의존하고 있음.
◎ 해외에서는 관련 재료 및 기술이전에 대한 국가적 규제가 심하여 해외 기술을 이용한 기술개발 및 사업화가 용이하지 않음.
◎ 따라서 비냉각식 적외선 센서의 해외의존도를 탈피하며, 그 국산화를 위해서는 본 개발이 절실히 필요한 상황임.
핵심개발 기술의 의의
◎ 지금까지 진공 패키징 공정은 일반적으로 매우 고가의 프로세스여서 보급화를 시키기가 어려운 패키지였음. 따라서 생산성이 우수한 패키지의 설계 및 제조 공정 기술의 확보는 제품 보급화를 위해 절대적으로 필요한 요소 기술임.
◎ 비냉각형 적외선 센서 기술은 국방 및 민수분야로의 파급효과가 큰 핵심 기술임에도 불구하고, 미국, 프랑스, 이스라엘, 일본 등 일부 선진국의 독점기술로서, 현재 전량 수입에 의존하고 있는 주요 부품소재임
적용 분야
비냉각형 적외선 검출기는 열영상 획득이 가능하므로, 각종 산업 시설,장비의 공정 관리, 산불감시 등 보안/감시분야 뿐만 아니라, 발전소, 변전소, 전자, 제철, 건물 등의 에너지 관리 등에 활용이 확대되고 있음.
과제명(ProjectTitle) : | - |
---|---|
연구책임자(Manager) : | - |
과제기간(DetailSeriesProject) : | - |
총연구비 (DetailSeriesProject) : | - |
키워드(keyword) : | - |
과제수행기간(LeadAgency) : | - |
연구목표(Goal) : | - |
연구내용(Abstract) : | - |
기대효과(Effect) : | - |
Copyright KISTI. All Rights Reserved.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.