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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)위즈켐 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-08 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201600005022 |
과제고유번호 | 1425087949 |
사업명 | 창업성장기술개발 |
DB 구축일자 | 2016-08-27 |
키워드 | 실리콘 웨이퍼.세정제.환경친화형.웨이퍼 세정.웨이퍼 가공. |
□ 개발목표
계획
1. 환경친화형 실리콘 웨이퍼 세정제개발
2. 실리콘 웨이퍼 세정제 물성, 생분해도 및 재질영향성 평가
3. 실리콘 웨이퍼 세정제의 솔라 웨이퍼 현장적용 실험
4. 최종세정제 인증평가(공인시험성적서 발행)
실적
1. 실리콘 웨이퍼 세정제 개발 완료
2. 실리콘웨이퍼 세정제의 물성, 생분해도 및 재질영향성 평가 측정 완료
3. 실리콘 웨이퍼 세정제의솔라 웨이퍼 현장적용 평가 완료
4. 공인시험성적서 발행
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 세정성
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