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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국산업기술대학교 산학협력단 Korea Polytechnic University |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-05 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 한국산학연협회 Korea Association of University, Research Institute and Industry |
등록번호 | TRKO201600006623 |
과제고유번호 | 1425087542 |
사업명 | 산학연협력기술개발 |
DB 구축일자 | 2016-09-10 |
1. 최종목표
• 3.5mm의 미분간섭검사영역을 확보할 수 있는 광학계 개발
- 유효 시야(Field of View) : ≥3.5mm
- 광학계 Wavefront Error : ≤0.05λ
- 분해 가능한 압흔 Size : ≤2.0um
2. 개발내용 및 결과
<개발내용>
• 광시야용 미분간섭 현미경 광학계 개발
- Objective Lens 설계 및 제작
- Tube Lens 설계 및 제작
- 조명광학계 설계 및 제작
• 각 렌즈경통 설계 및 제작
- 대물렌즈,
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