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NTIS 바로가기주관연구기관 | 경희대학교 산학협력단 Kyung Hee University |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-07 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201600006743 |
과제고유번호 | 1425087577 |
사업명 | 산학연협력기술개발 |
DB 구축일자 | 2016-09-10 |
1. 최종목표
본 기술은 고유연성 및 고집적화 디스플레이 구동회로를 구현하기 위하여 차세대 고이동도 물질로 각광을 받고 있는 2차원 나노판상구조 MoS2 물질의 대량 벌크 생산 및 대면적 초박막 성장을 통하여 차세대 전자회로소자용 반도체 물질의 성장기술의 개발을 목표로 한다.
2. 개발내용 및 결과
◦ 단결정 MoS2 반도체 물질의 대량 벌크 생산 및 판매
- 2단의 Thermal CVD 시스템 구축 및 대량 양산 체제 구축
◦ 대면적 초고이동도 MoS
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