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NTIS 바로가기주관연구기관 | 아텍시스템 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-07 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201600007987 |
과제고유번호 | 1425080751 |
사업명 | 중소기업융복합기술개발 |
DB 구축일자 | 2016-09-03 |
키워드 | 세포칩.집속이온빔.나노홀.미세유체채널.바이오칩. |
□ 개발목표
계획
FIB(Focused Ion Beam)을 이용한 50nm급 나노 hole 및 금속박막 전극을 갖는 세포칩 제작 기술
실적
FIB(Focused Ion Beam)을 이용한 100nm급 나노 hole 및 금속박막 전극을 갖는 세포칩 제작 기술
□ 정량적 목표항목 및 달성도
나노홀 직경
- 계획 : 100nm
- 실적 : 97nm
나노유체 채널폭
- 계획 : 100nm
- 실적 : 64nm
두께 500nm 절연막내 나노홀 어레이 직경
- 계획
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