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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)유브이램 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-07 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201600008371 |
과제고유번호 | 1425072203 |
사업명 | 창업성장기술개발 |
DB 구축일자 | 2016-09-03 |
키워드 | 엑시머자외선.무수은.외부전극광원.초장수명.고에너지. |
□ 개발목표
계획
193nm + 249nm +351nm 단파장 엑시머 자외선 광원개발
실적
249nm 단파장 엑시머 자외선 광원개발
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. UV Power density(mW/cm2)
- 계획 : ~0.5
- 실적 : ~ 3
2. UV 균일도 (%)
- 계획 : +-10
- 실적 : +- 5
3. Lamp 수명 (hrs)
- 계획 : ~15,000
- 실적 : ~ 30,000
□ 기대효과
수처리 기술 분야
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