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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)가하 |
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연구책임자 | 조윤석 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-09 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201600017253 |
과제고유번호 | 1415136262 |
사업명 | 글로벌전문기술개발(주력,신산업) |
DB 구축일자 | 2017-09-20 |
키워드 | 멀티프로브.공초점현미경.다색공초점현미경.박막두께측정.형상측정.3차원. |
I-2. 해당 연도 추진 실적
1. 해당 연도 개발 목표
5차년도 개발목표:대면적/고분해능 시스템화 및 측정 속도 증가를 위한 프로브 개발.
5차년도 기술팀별 개발목표
센서/프로브 융복합 기술팀(가하/유남옵틱스):
SPCC와 고분해능 SICM을 융/복합한 대면적1) 측정 장비 상용화 완료
MPCC와 자동초점 장치가 장착된 현미경을 융/복합한 소면적 측정 장비 상용화 완료
MPCC 상용화 제품 개발 및 SPCC 제품군 개발.
MPCC/SPCC 광학계 렌즈 설계 및
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