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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)에스엔텍 |
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연구책임자 | 안경준 |
참여연구자 | 김한기 , 최상대 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-06 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
과제관리전문기관 | 한국산업기술평가관리원 Korea Evaluation Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO201600017595 |
과제고유번호 | 1415129870 |
사업명 | 제조기반산업원천기술개발 |
DB 구축일자 | 2017-09-20 |
키워드 | 박리.대면적.고속.건식 식각.희생층. |
□ 최종목표
- 기상 박리모듈 시제품 개발 및 상용화 기술개발
- 박리 모듈 수율 및 균일도 향상 기술 개발
- 나노재료/소자 박리를 위한 다양한 신규 산화물 희생층 개발
- 신규 희생층을 이용한 건식 기상 박리 공정 기술 개발
- 신규 희생층의 건식 기상 박리 공정에서의 박리 메커니즘 규명
□ 개발내용 및 결과
- 370ⅹ470㎟ 급 상용화 박리모듈 시작품 설계 및 제작 완료
- 370ⅹ470㎟ 급 시작품 안정화/ 보완평가
: 성능 평가(온도제어/저진동/박리)
- 공정
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