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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)그린리소스 |
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연구책임자 | 이종범 |
참여연구자 | 엄성현 , 권병국 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-10 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201600018322 |
과제고유번호 | 1415135673 |
사업명 | 산업기술표준화및인증지원 |
DB 구축일자 | 2017-09-20 |
키워드 | 스크러버.과불화 화합물.연소분해.니켈합금.용사코팅. |
최종목표
반도체공정 폐가스내 PFC처리용 스크러버 유지보수성 향상을 위한 고내구성 연소분해모듈 개발
핵심 기술별 정량적 목표
[주관기관]
니켈합금 기반 용사코팅 소재 및 공정기술 개발-.내부식성 0.4mm 이하 /.코팅중 밀도 95% 이상/.표면조도 5㎛ 이하
[주관/참여 공동]
연소분해 모듈 제작 및 평가- . NF3 폐가스처리유량 200 L/min /. NF3 분해제거율 99% 이상
[참여기관]
내부배가스자기재순환 연소분해장치 설계 - .CAE 기반 버너팁, 연소실 설계 /.최적의 운전
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