초록 ▼

Ⅳ.연구개발 결과 및 활용에 대한 건의
- 156 × 156 mm² 크기의 100㎛ 두께 실리콘 기판 제조 성공
- 20 × 20 mm² 크기의 50㎛ 두께 실리콘 기판 제조 성공
- Wire sawing을 이용한 기판 제조 시 파손율 감소를 위한 공정 최적화
- 방전가공을 이용한 실리콘 기판 제조 기술 검토 및 연구
- 156 × 156 mm² 크기의 50㎛ 두께 실리콘 태양전지 공정 최적화
- 50㎛ 두께의 초박형 실리콘 태양전지 효율 1

Ⅳ.연구개발 결과 및 활용에 대한 건의
- 156 × 156 mm² 크기의 100㎛ 두께 실리콘 기판 제조 성공
- 20 × 20 mm² 크기의 50㎛ 두께 실리콘 기판 제조 성공
- Wire sawing을 이용한 기판 제조 시 파손율 감소를 위한 공정 최적화
- 방전가공을 이용한 실리콘 기판 제조 기술 검토 및 연구
- 156 × 156 mm² 크기의 50㎛ 두께 실리콘 태양전지 공정 최적화
- 50㎛ 두께의 초박형 실리콘 태양전지 효율 17.93 % 달성
- 초박형 실리콘 태양전지 전극형성 공정 최적화
- 초박형 실리콘 태양전지 모듈 제조 기술 개발
- 초박형 PV 모듈 내구성 확보

Abstract ▼

Ⅳ. Result and Recommendations
- Fabrication of thin silicon wafer with 156 × 156 mm² area and 100㎛ thickness
- Fabrication of thin silicon wafer with 20 × 20 mm² area and 50㎛ thickness
- Optimization of wire-sawing condition to reduce loss of silicon wafers
- Techni

Ⅳ. Result and Recommendations
- Fabrication of thin silicon wafer with 156 × 156 mm² area and 100㎛ thickness
- Fabrication of thin silicon wafer with 20 × 20 mm² area and 50㎛ thickness
- Optimization of wire-sawing condition to reduce loss of silicon wafers
- Technical review and study on diverse wafering methods
- Optimization of ultrathin silicon solar cell fabrication at 156 × 156 mm² area and 50㎛ thickness
- Achievement of 17.93 % efficiency at ultrathin silicon solar cell with 50㎛ thickness
- Optimization of the process to fabricate ultrathin silicon solar cells
- Fabrication and performance test of ultrathin silicon solar cell module

목차 Contents

• 표지 ... 1제 출 문 ... 3요 약 문 ... 5SUMMARY ... 7CONTENTS ... 9목차 ... 11그림목차 ... 13표목차 ... 19제 1 장 서론 ... 21 제 1 절 결정질 실리콘 태양전지 ... 21 제 2 절 결정질 실리콘 태양전지 기술 개발 동향 ... 22 1. 초박형 기판 제조기술 ... 22 2. 태양전지 제조 기술 ... 25 3. 모듈 제조 기술 ... 28제 2 장 박형 실리콘 기판 제조 기술 ... 30 제 1 절 다양한 실리콘 기판 제조 기술 ... 30 1. 와이어 절단법 ... 32 2. 전극와이어 절단법 ... 34 3. 플라즈마 가공 절단법 ... 35 4. Epi on Si Layer Transfer 기술 ... 37 5. Silicon on Dust Sheet (SDS) 기술 ... 39 6. 액상법 ... 41 7. Ion implantation을 활용한 기판 제조 ... 47 8. SLIM-CUT ... 51 9. Wire Electro-Discharge Slicing ... 53 제 2 절 Slurry Multi Wire Sawing을 이용하여 제작된 박형 실리콘 웨이퍼의 생산성 및 품질 향상기술 개발 ... 56 제 3 절 이온주입법을 이용한 50㎛급 초박형 웨이퍼 제조기술 개발 ... 67 제 4 절 Wire Electro-discharge를 이용한 초박형 실리콘 웨이퍼 제조기술 개발 ... 69 1. 결정질 실리콘의 와이어 방전가공장치 개발을 위한 기초연구 ... 69 2. Wire electric discharge 가공장치 개발 ... 78 3. Wire electric discharge 가공장치를 이용한 웨이퍼 절단 연구 ... 84제 3 장 초박형 실리콘 태양전지 제조 기술 ... 91 제 1 절 결정질 실리콘 태양전지 제조 기술 개발 ... 91 1. 표면 조직화 ... 91 2. 불순물 도핑 및 확산 (Diffusion) ... 96 3. 패시베이션 및 반사방지막 증착 공정 ... 104 4. 전극 형성 (Metallization) ... 110 제 2 절 초박형 실리콘 태양전지 제조 ... 120제 4 장 초박형 실리콘 태양전지 모듈 제조 및 신뢰성 향상 기술 개발 ... 123 제 1 절 초박형 실리콘 태양전지 모듈 제조 기술 ... 123 1. 초박형 태양전지 모듈 출력손실 저감기술 개발 ... 123 2. 초박형 태양전지 광 생성 전류 불균일 최소화 방안 ... 132 3. 기존 모듈 공정 기술을 적용한 초박형 태양전지 ... 140 4. Conductive Paste(CP)를 적용한 초박형 태양전지 모듈 제작 ... 143 5. 초박형 태양전지 모듈화 공정 기술 개발 ... 150 제 2 절 모듈의 신뢰성 및 출력 감소 최소화를 위한 모듈 제작 기술 ... 152 1. Cell to Module(CTM)loss 최소화를 위한 태양전지 분류기준 ... 152 2. 초박형 태양전지 모듈의 신뢰성 평가 ... 165제 5 장 결 론 ... 169참 고 문 헌 ... 171끝페이지 ... 172