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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)세미로드 |
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연구책임자 | 김홍성 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-05 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 지식경제부 Ministry of Knowledge Economy |
등록번호 | TRKO201700001107 |
과제고유번호 | 1415115543 |
사업명 | 부품소재산업경쟁력향상 |
DB 구축일자 | 2017-09-20 |
키워드 | 멤스.감도.마이크로폰.표면가공.신뢰성. |
1.최종 개발목표
(1)개발목표 :MEMSmicrophone개발
본 과제의 1차적인 목표는 MEMS기술을 이용하여 소형 IT기기에 적합한 MEMSSimicrophonechip을 개발하는 것이다.
이 개발된 MEMSSimicrophonechip을 을 기존의 LNA(Low NoiseAmplifier)chip과 결합하는 packaging기술을 개발하여,MEMS기술 기반 SMT공정이 가능한 MEMSmicrophone을 개발하는 것이 최종 목표이다.특히 Surfacemicromachining 기술을 이용한 MEMSmicrop
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