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NTIS 바로가기주관연구기관 | 뉴파워프라즈마(주) |
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연구책임자 | 이동원 |
참여연구자 | 이한용 , 박성기 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-10 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201700001323 |
과제고유번호 | 1415124549 |
사업명 | 전자정보디바이스산업원천기술개발 |
DB 구축일자 | 2017-09-20 |
키워드 | 고주파 전원장치.임피던스 정합장치.세정용 원격 플라즈마. |
□ 최종목표
o 5세대 및 8세대 박막태양광 PECVD에 적용가능한 60MHz 전원장치/정합기 및 Remote Plasma Cleaning Source 개발
o End Product
- 48kW급 60MHz 전원장치(Generator) SYS(HW+SW)
- 48kW급 60MHz 정합기(Matcher) SYS(HW+SW)
- 100 liter급 대용량 Remote Plasma Cleaning Source SYS(HW+SW)
□ 개발내용 및 결과
o 48kW급 60MHz Generator
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