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NTIS 바로가기주관연구기관 | 삼영에스앤씨 |
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연구책임자 | 박상익 |
참여연구자 | 박승현 , 김성수 , 윤중락 , 탁용석 , 서수정 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-11 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201700001406 |
과제고유번호 | 1415122015 |
사업명 | 부품소재산업경쟁력향상(소재부품기술개발) |
DB 구축일자 | 2017-09-20 |
키워드 | 스템프.나노기공.캐패시터.박막 적층.패키징 기술. |
□ 최종목표
항목 / 목표 Spec.
동작 전압 / 300V
누설 전류 / 100㎂ 이하
정전용량 / 3㎌ (± 3%)
ESR(등가직렬저항)/ 100mΩ
손실 / 5 이하
제품사이즈(L×W×H) / 50㎜×50㎜×5㎜
□ 개발내용 및 결과
➀ 대면적 나노기공 구조 패턴 인쇄 기술 개발
▪ 정밀 나노 패턴 인쇄 기술 및 상용화 기술 개발
- 3차년도 박막 캐패시터 제작된 마스크
- Mold master를 이용한 stamp 제조
▪ Stamp를 이용
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