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NTIS 바로가기주관연구기관 | 두플 |
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연구책임자 | 김형수 |
참여연구자 | 김바울 , 이치우 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-01 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201700002443 |
과제고유번호 | 1415143506 |
사업명 | 산업현장핵심기술수시개발(R&D) |
DB 구축일자 | 2017-09-02 |
키워드 | 반도체.표준.통신.분석.장비데이터수집.Semiconductor.Standard.Communication.Analysis.Equipment Data Acquisition. |
□ 최종목표
○ SEMI Standards에 규정된 반도체 장비로 부터의 Data 취득 방법에 대한 신규 표준(EDA)을 만족하는 Server 및 Client 솔루션 개발
□ 개발내용 및 결과
○ SEMI EDA Standards에 규정되어 있는 총 4개 파트의 사양을 만족하는 서비스와 장비 Data 수집을 위한 제반의 표준제약 사항을 연구하여 성공적으로 구현함
가. E120 Common Equipment Model
나. E125 Equipment Self Description
다. E132
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