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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 김형태 |
참여연구자 | 김승택 , 김종석 , 구정인 , 정훈 , 진경찬 , 김명민 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-02 |
과제시작연도 | 2016 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201700003090 |
과제고유번호 | 1711047261 |
사업명 | 한국생산기술연구원연구운영비지원 |
DB 구축일자 | 2017-09-20 |
키워드 | 파장 스윕 레이저.가간섭.단층영상.표면하부.인쇄공정 형성 층 코팅층 검사.내부검사.비파괴.광대역 광원.적층구조.Wavelength swept laser.Coherence.3-D Tomography.Subsurface.Printed layer.Coated layer inspection.Nondestructive.Broadband light source.Layered structure. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201700003090 |
개발의 목표
◯ 프린팅 또는 코팅에 의해 형성된 수십~수백 μm 두께의 적층 구조 내부 관찰을 위한 7μm 이하의 깊이 해상도를 가지는 비파괴 스윕소스 광간섭 영상 검사 기술 개발 및 시스템 모듈화 기술 개발
개발내용 및 결과
◯ 광 간섭 신호 생성용 가간섭 광원 모듈화 기술 개발
- 광소스 제작 및 광원 모듈화 작업 수행
- 분해능 향상을 위한 파장 스윕 범위 확대 및 특성 개선:90nm
- IR 사용 영역 : 1300nm ~ 1500nm
- 예상 침투 깊이 : 아크릴 소재 576~10
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