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NTIS 바로가기주관연구기관 | 포항산업과학연구원 Research Institute of Industrial Science & Technology |
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연구책임자 | 박성국 |
참여연구자 | 이상길 , 이하영 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2010-04 |
과제시작연도 | 2009 |
주관부처 | 교육과학기술부 Ministry of Education and Science Technology(MEST) |
등록번호 | TRKO201700003257 |
과제고유번호 | 1485008769 |
사업명 | 21C프론티어연구개발 |
DB 구축일자 | 2018-02-24 |
키워드 | LCD제조폐액.MLB에칭폐액.진공증발.투석.용매추출.이온교환.LCD Waste Water.MLB Etching Waste Water.Vacuum Evaporation.Dialysis.Solvent Extraction.Ion Exchange. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201700003257 |
1. 반도체 인산폐액을 재활용 공정기술 및 Pilot 장치에 의한 공정의 최적화
1) 진공증발법으로 질산, 초산을 제거하고 확산투석법으로 금속불순물을 1ppm 이하까지 정제할 수 있는 초고순도 정제기술 및 장치 개발
2) 불순물 1ppm 이하까지 정제할 수 있는 확산투석막 (APS4)를 실험실적으로 개발하고, APS4를 장착한 확산투석기 제작 및 설치 완료하고 시작품을 제조
2. 진공증발, 다단계 증류, 확산투석에 의한 고순도 인산 회수시스템 최적화
1) 진공증발공정에서 잔류하는 질, 초산을 다단계증류공
Ⅱ. Results
1) Form the waste acid mixture of acetic, nitric and phosphoric acid and metal ions such as Al, Mo and other impurities in semiconductor as well as liqued crystal display(LCD) manufacturing process, the yield of the process are almost 99% removal of nitric acid and acetic acid was achi
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