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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science |
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연구책임자 | 김용규 |
참여연구자 | 박승남 , 김재완 , 서호성 , 엄태봉 , 강주식 , 김종안 , 진종한 , 박정재 , 우제흔 , 이재용 , 최병일 , 김종철 , 우상봉 , 이주현 , 권수용 , 이상현 , 이주광 , 강노원 , 원성호 , 조치현 , 이형규 , 김문석 , 김완섭 , 김단비 , 박포규 , 권휴상 , 윤병로 , 전세종 , 강웅 , 최용문 , 최해만 , 이생희 , 이상욱 , 조완우 , 최인묵 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-10 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201700004614 |
과제고유번호 | 1711019861 |
사업명 | 한국표준과학연구원연구운영비지원 |
DB 구축일자 | 2017-09-20 |
키워드 | 기반표준.신수요.측정기술.측정표준.첨단산업.Physical metrology.Future generation needs.Measurement technology.Measurement standards.Emerging industry. |
연구목표
○ 미래 성장산업에서 필요로 하는 신수요 측정표준 및 측정기술을 능동적으로 대응하여 조기에 확립하여 국가 아젠더 프로젝트 혹은 산업체에 보급함으로써 국가 성장동력 제고에 기여하고자 함.
○ 원천 측정기술 분야를 선정하여 집중적인 연구를 수행함으로써 국가 산업발전에 따라 요구되는 새로운 측정/평가 기술을 개발하여 보급함으로써 국내 산업체의 대외 경쟁력 향상에 기여
연구내용
○ 1년차 연구내용
◦TSV 인증표준물질의 개발
- TSV 인증표준물질의 설계 및 건식 식각을 통한 제작 (지름:
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