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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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연구책임자 | 박철훈 |
참여연구자 | 김준규 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-01 |
과제시작연도 | 2016 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201700004767 |
과제고유번호 | 1711046681 |
사업명 | 한국기계연구원연구운영비지원 |
DB 구축일자 | 2017-09-20 |
키워드 | 미세 홀 가공.자기베어링.드릴링.스핀들.Micro-hole Machining.Magnetic Bearing.Drilling.Spindle.60.000rpm. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201700004767 |
1. 과제목표
- 반도체 웨이퍼 가공을 위한 60,000rpm급 드릴링 머신 개발
2. 개발내용 및 결과
- 기존의 볼베어링이 적용된 드릴링 머신을 자기베어링이 적용된 드릴링 머신으로 대체
- 기존의 헤테로폴라 형태의 자기베어링이 아닌 하이브리드 호모폴라 형태의 자기베어링 적용
- 기존의 20,000rpm급 드릴링 머신보다 회전속도가 약 3배 빠른 60,000rpm급 드릴링 머신 개발
- 자기베어링 적용 미세홀 가공용 드릴링 스핀들의 미세홀 가공 성능 검증
- 하이브리드 자기베어링 적용으
Ⅳ. Results
- Developing perfect rotation characteristic by measuring and evaluating the rotation speed of shaft and load force in radial magnetic bearing with thrust magnetic bearing and maximum unbalance response.
- Improving mechanical properties of bearing by adapting the magnetic beari
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