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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국전기연구원 Korea Electrotechnology Research Institute |
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연구책임자 | 김판겸 |
참여연구자 | 정성일 , 하태규 , 남수용 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-11 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
과제관리전문기관 | 한국전기연구원 Korea Electrotechnology Research Institute |
등록번호 | TRKO201700004974 |
DB 구축일자 | 2017-09-20 |
키워드 | 음각 패턴 필름.실버 페이스트.투명 전극 필름. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201700004974 |
최종목표
· 1㎛ 이하급 패턴을 갖는 투명전극에 적용 가능한 페이스트 개발
- 최소선폭: 1㎛이하
- 광투과도: 85% 이상
- 면저항: 30Ω/□ 이하
개발내용 및 결과
◦ 본 과제에서는 자외선을 이용한 위상 전이 노광 공정을 이용하여 1㎛ 미만의 극미세패턴을 제작할 수 있는 공정 기술을 구현하였음.
◦ 본 과제에서 개발된 위상전이 노광공정을 이용하여 메쉬 패턴구조의 니켈 스탬프를 제작하였고, 이를 이용하여 음각 패턴필름 제작하였음.
◦ 본 과제를 통하여 참여기업은 1㎛ 미만의 극
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