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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)미래세라텍 |
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연구책임자 | 김성현 |
참여연구자 | 김상모 , 주종남 , 박정환 , 서은열 , 전태구 , 전건구 , 장인권 , 김종일 , 전미현 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-10 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
과제관리전문기관 | 한국산업단지공단 Korea Industrial Complex Corporation |
등록번호 | TRKO201700006826 |
과제고유번호 | 1415130997 |
사업명 | 산업집적지경쟁력강화사업 |
DB 구축일자 | 2017-10-12 |
키워드 | 가압주입성형법.이트리아 벌크.내플라즈마.대형크기.반소재. |
1. 최종목표
■ Φ500 mm 이상의 Yttria Bulk 소재 개발
(반도체용 LID/FOCUS RING Parts 국산화 개발)
1) 대형 소재 성형법 개발
2) 원료 Formula 개 발
3) 소성 profile 개발
4) 난삭재 정밀 가공 및 경면가공 기술 개발(참여기업)
5) 상용 완제품 국산화
2. 개발내용 및 결과
(1) 개발 목표 대비 달성율
상용 완제품 / O.D 546.1 x25.7T (mm) / 완제품 제조 완료 / 100%
Formulation
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