초록 ▼

1. 최종목표
○ Cover Glass 일체형 Touch Panel용 ITO 투명전극을 제조하기 위해 다양한 공정변수 연구와 Index matching layer의 최적화를 통하여 ITO 코팅유리막 제조 기술을 확립하고자 한다.
- Touch Panel용 ITO 투명전극의 저온공정기술 개발(공정온도 150℃ 이하).
- 후처리를 위한 고출력 Ion Source 개발
- Index Matching 설계 최적화
"Cover Glass 일체형 TSP용 ITO Coated Glass 개발"
- 면저항 : ≤

1. 최종목표
○ Cover Glass 일체형 Touch Panel용 ITO 투명전극을 제조하기 위해 다양한 공정변수 연구와 Index matching layer의 최적화를 통하여 ITO 코팅유리막 제조 기술을 확립하고자 한다.
- Touch Panel용 ITO 투명전극의 저온공정기술 개발(공정온도 150℃ 이하).
- 후처리를 위한 고출력 Ion Source 개발
- Index Matching 설계 최적화
"Cover Glass 일체형 TSP용 ITO Coated Glass 개발"
- 면저항 : ≤ 100 Ω/□
- 투과율 : ≥ 91 % (at 550nm)
- Uniformity : ≤ ± 5 %
- Index matching : ≤ 1
- 시제품 사이즈 : 6"
- ITO 박막 두께 : 250 ± 50 Å

2. 개발내용 및 결과
○ 개발내용
- TSP용 ITO 투명전극의 저온공정 개발
- 저온 공정에 최적화된 ITO 신조성 타겟 탐색 및 적용
- 경시변화 특성 연구 및 최적화 공정 개발
- 후처리를 위한 고출력 ion source 개발 및 공정 최적화 연구
- 투과율 및 시인성 향상을 위한 index matching 설계 및 공정 최적화
- 시제품 제작 및 특성 연구
○ 개발 결과
고줄력 ion source 후처리를 이용한 저온 공정 개발 및 index matching 설계 최적화를 통한 Cover Glass 일체형 TSP용 ITO Coated Glass 개발 완료

3. 기대효과
○ 기술적 측면
- ITO 박막의 저온 공정 개발 및 Index matching을 통한 Cover glass 일체적 터치 패널 개발을 위한 것으로서 박막 공정 개선 및 디스플레이 소자 특성 향상을 위한 핵심 연구 기술.
- 저온 공정 개발을 적용하여 향후 필름 기반 터치 패널 및 신성장 동력 사업으로 급부상하고 있는 유연 디스플레이에 적용이 가능한 응용 연구 기술.
- ITO 필름 및 글라스 시장을 선점하고 있는 일본과의 기술격차 감소.
- 터치스크린 패널, PDP, OLED등 각종 디스플레이의 터치스크린 패널 제조에 대한 원천기술 확보.
○ 경제 산업적 측면
- 수입 의존도가 높았던 ITO 코팅 제품의 국산화 비율이 높아질 것으로 예상되며, 해외 수출 또한 기대.
- 본사의 매출 증대에 막대한 영향을 미칠 것으로 예상하며, 국내 터치 모듈업체와 협력하여 기술개발을 진행 중
- 지속적인 연구개발 투자 및 생산라인 증설로 이어져 지역경제의 활성화 및 고용창출을 초래할 것으로 기대.

4. 적용분야
TSP 응용 산업의 활성화로 인해 수입에 의존도가 높은 요소 품목들의 내수화 개발이 이루어질 것으로 예상되며 경제적 수입대체 효과와 더불어 개발 완성품의 수출중대 효과 기대.
(출처 : 최종보고서 초록 4p)

목차 Contents

• 표지 ... 1생산기술사업화 지원사업 최종보고서 ... 2제출문 ... 3생산기술사업화 지원사업 최종보고서 초록 ... 4목차 ... 6제 1 장 서론 ... 7 제 1 절 개발기술의 중요성 및 필요성 ... 7 제 2 절 국내·외 관련 기술의 현황 ... 13 제 3 절 기술개발 시 예상되는 파급효과 및 활용방안 ... 18제 2 장 기술개발 내용 및 방법 ... 20 제 1 절 기술 개발 목표 및 내용 ... 20 제 2 절 기관별 개발 내용 및 개발 범위(주관기관: 유아이디) ... 21 제 3 절 기관별 개발 내용 및 개발 범위(참여기관: 유니플라즈마) ... 25 제 4 절 기관별 개발 내용 및 개발 범위(참여기관: 충북대학교) ... 28제 3 장 결과 및 사업화 계획 ... 33 제 1 절 연구개발 최종 결과 ... 33 제 2 절 연구개발 추진 체계 ... 87 제 3 절 시장 현황 및 사업학 전망 ... 92끝페이지 ... 94