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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국전자통신연구원 Electronics and Telecommunications Research Institute |
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연구책임자 | 양우석 |
참여연구자 | 박지수 , 김성렬 , 한승오 , 김창규 |
보고서유형 | 연차보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-12 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201700008798 |
과제고유번호 | 1711032852 |
사업명 | 한국전자통신연구원운영경비 |
DB 구축일자 | 2017-11-04 |
키워드 | 마이크로폰.음향센서.음향제어.지능형.MEMS.ROIC. |
Ⅰ. 당해년도(1차년도) 연구개발 추진일정
II. 당해년도(1차년도) 연구개발 추진실적
□ 연구목표
o 이중 멤브레인 MEMS 음향센서 칩 설계/공정 개발
- 목표 성능
· 칩 크기: 1.4×1.0×0.4mm3
· 노광공정 횟수: 8회
□ 연구실적
o 이중 멤브레인 MEMS 음향센서 칩(Ver.1) 설계/공정 개발
- 고감도 광대역 이중 멤브레인 구조 칩 설계
· 칩 크기: 1.4×1.0×0.4mm3
· 멤브레인 직경: 770um(고감
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