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NTIS 바로가기주관연구기관 | 동아대학교 Donga University |
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연구책임자 | 이효종 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-05 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201700010310 |
과제고유번호 | 1711024329 |
사업명 | 신진연구자지원 |
DB 구축일자 | 2017-10-12 |
키워드 | 구리.이방성.나노결정.집합조직.미세조직.신뢰성.재결정.결정립 성장.응력.Copper.Anisotropy.Nanocrystalline.Texture.Microstructure.Reliability.Recrystallization.Grain Growth.Stress. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201700010310 |
연구의 목적 및 내용
● 1축 인장상태에서의 결정립 미세조직 측정
① 연성재료인 PET 기판을 이용하여 구리 씨드층을 증착하고 1축 인장이 가능한 시험기를 제작
② 1축 인장상태에서 결정립 성장 이방성이 관찰되지 않고 응력이 없는 경우와 유사한 성장거동임
③ 초기 결정립 크기에 따른 도금층의 에피탁시 결정성장 경향성과 에피탁시 성장정도에 따른 결정립 성장거동의 차이를 분석
● Si 기판상 결정방위에 따른 에칭특성 평가
① XRD, EBSD, 4PP 면저항 측정을 통해 구리도금 박막의 결정립 성장
Purpose&contents
● Microstructure analysis of Cu electrodeposits on the one-axis tensile state
① Preparing Cu film on a flexible PET substrate and fabricating one-axis tensile tester
② Impossibility of investigating anisotropic grain growth for one-axis tensile state
③ Epitaxial growth b
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