초록 ▼

1. 근접장 나노패터닝 기술을 이용한 대면적 3차원 나노 구조물 제작
-대면적(>4×4인치2) 위상 마스크 제작 및 대면적 노광을 위한 광학 시스템 설계
-대면적(>4×4인치2) 3차원 나노 구조물 제작 기술 최적화
2. 금속산화물의 3차원 나노 구조화 기술 개발
-3차원 템플릿 내부로 ALD를 이용한 금속산화물의 함침 공정 기술 개발
-고분자 템플릿을 결함 없이 제거할 수 있는 에칭 공정 최적화
-산화아연 및 알루미나의 3차원 나노구조 제작 및 산화타이타늄의 제조 공정 최적화
3. 3차원 열전

1. 근접장 나노패터닝 기술을 이용한 대면적 3차원 나노 구조물 제작
-대면적(>4×4인치2) 위상 마스크 제작 및 대면적 노광을 위한 광학 시스템 설계
-대면적(>4×4인치2) 3차원 나노 구조물 제작 기술 최적화
2. 금속산화물의 3차원 나노 구조화 기술 개발
-3차원 템플릿 내부로 ALD를 이용한 금속산화물의 함침 공정 기술 개발
-고분자 템플릿을 결함 없이 제거할 수 있는 에칭 공정 최적화
-산화아연 및 알루미나의 3차원 나노구조 제작 및 산화타이타늄의 제조 공정 최적화
3. 3차원 열전 소재의 물성 확보
-3차원 나노구조에 의한 열전특성 변화 분석
-도핑을 통하여 전기전도도의 향상과 열전성능의 향상
4. 새로운 3차원 열전 소재 제작을 위한 모델 정립
-Bi-Te계 열전소재의 제작을 통한 3차원 나노구조 열전소재의 활용 방안 마련
-Sb 도핑 효과로 열전성능을 향상시킴
(출처: 연구결과 요약문 4p)

Abstract ▼

1. Development of large-area 3D nanopatterning technique based on proximity field nanopatterning.
-Preparation of large phase mask (4 x 4 inch2) and design of optics for large-area patterning.
-Optimization of optics for large-area 3D nanopatterning.
2. Development of conversion technique f

1. Development of large-area 3D nanopatterning technique based on proximity field nanopatterning.
-Preparation of large phase mask (4 x 4 inch2) and design of optics for large-area patterning.
-Optimization of optics for large-area 3D nanopatterning.
2. Development of conversion technique for converting the 3D polymer template to 3D nanostructured metal oxides.
-Conformal deposition of metal oxides on 3D polymer template using atomic layer deposition(ALD).
-Fabrication of 3D nanostructured ZnO and Al2O3.
-Optimization of etching process for reducing defects.
3. Measurement of thermoelectric properties.
-Compare with 3D nanostructured metal oxide and bulk metal oxide.
-Enhancement of thermoelectric properties using doping and process optimization.
4. Finding new materials for 3D nanostructured thermoelectric materials.
-Fabrication of 3D nanostructured Bi-Te thermoelectric materials.
-Sb doping for enhancement of power factors.
(출처: Summary 5p)

목차 Contents

• 표지 ... 1목차 ... 2연구계획 요약문 ... 3연구결과 요약문 ... 4 한글요약문 ... 4 SUMMARY ... 5연구내용 및 결과 ... 6 1. 연구개발과제의 개요 ... 6 2. 국내외 기술개발 현황 ... 9 3. 연구수행 내용 및 결과 ... 13 4. 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 25 5. 연구결과의 활용계획 ... 27 6. 연구과정에서 수집한 해외 과학기술정보 ... 30 7. 주관연구책임자 대표적 연구실적 ... 32 8. 참고문헌 ... 33 9. 연구성과 ... 35 10. 국가과학기술지식정보서비스에 등록한 연구시설·장비 현황 ... 38 11. 연구개발과제 수행에 따른 연구실 등의 안전조치 이행실적 ... 39 12. 기타사항 ... 40대 표 연 구 성 과 ... 41대표적 연구실적 사본 ... 46세부 목표 관련 증빙 ... 56끝페이지 ... 62