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NTIS 바로가기주관연구기관 | 전자부품연구원 Korean Electronics Technology Institute |
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연구책임자 | 황학인 |
참여연구자 | 이대성 , 신규식 , 노지형 , 윤지호 , 김준호 , 원기훈 |
보고서유형 | 3단계보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-07 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO201700012261 |
과제고유번호 | 1711016707 |
사업명 | 뇌과학원천기술개발 |
DB 구축일자 | 2017-11-13 |
키워드 | 무선전력공급.마이크로센서.뇌압센서.인체무선데이터통신.뇌상태 모니터링.생체적합성.wireless power trans..micro sensor.brain pressure sensor.wireless comm. in body.Brain monitoring. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201700012261 |
- pPPD용 온도/압력센서 MEMS 센서칩 공정최적화 : 2단 희생층 공정 개발 및 적용 통해 진공실링을 위한 hole filling 공정 개선/제조공정도 및 Runsheet 수정보완/ 압력센서 감지범위 확장 및 안정성 향상
- pPPD 패키징 구조 개선 및 안정성 향상 : 뇌 삽입부 생체적합 패키징 실시 / 뇌 프로브 직경 : 2mm /pPPD 장기 안정성 확보
- 3 전극 DPV 구동회로 소형화 개발 : Size : 15x17mm / 구동전압범위 : -0.7~0.2V / 전류측정 정밀도 : ~10pA
IV. Result of the program
○ The development of core technology of micro multi(pressure, temperature, voltage) brain sensor based on Nano and MEMS for nano probe pin device
○ The development of platform technology of wireless power transmission and sensor data communication system for senso
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