초록 ▼

- pPPD용 온도/압력센서 MEMS 센서칩 공정최적화 : 2단 희생층 공정 개발 및 적용 통해 진공실링을 위한 hole filling 공정 개선/제조공정도 및 Runsheet 수정보완/ 압력센서 감지범위 확장 및 안정성 향상

- pPPD 패키징 구조 개선 및 안정성 향상 : 뇌 삽입부 생체적합 패키징 실시 / 뇌 프로브 직경 : 2mm /pPPD 장기 안정성 확보

- 3 전극 DPV 구동회로 소형화 개발 : Size : 15x17mm / 구동전압범위 : -0.7~0.2V / 전류측정 정밀도 : ~10pA

- pPPD용 온도/압력센서 MEMS 센서칩 공정최적화 : 2단 희생층 공정 개발 및 적용 통해 진공실링을 위한 hole filling 공정 개선/제조공정도 및 Runsheet 수정보완/ 압력센서 감지범위 확장 및 안정성 향상

- pPPD 패키징 구조 개선 및 안정성 향상 : 뇌 삽입부 생체적합 패키징 실시 / 뇌 프로브 직경 : 2mm /pPPD 장기 안정성 확보

- 3 전극 DPV 구동회로 소형화 개발 : Size : 15x17mm / 구동전압범위 : -0.7~0.2V / 전류측정 정밀도 : ~10pA 가능

- 자기공진형 무선전력 시스템 적용을 통한 전송거리 및 효율 향상 : 공진주파수 : 6.7MHz 적용 / 전송가능거리 : 3.5cm(최대 5cm 이상@DC-DC 승압회로 적용시) / 수신 안테나의 크기 : 직경 3cm 적용 / 수신전력 : 30~150mW(@송신전력 1W)

- BLE를 통한 통신방식 및 사용법 개선 : 400MHz, 2.4GHz, 2.45GHz의 3중 주파수를 적용한 복잡한 무선시스템을 단일주파수(Bluetooth)를 적용한 심플한 시스템으로 개선

- WPDT 저전력 동작모드 개선 : 내부 전원회로 개선 및 전 회로의 sleep mode 상태 가능케함 / Timer Wake-up 기능을 통한 동작제어 / 전류 소모 개선

- WPDT 소형화 개발 : Size : 30 x 40mm

- Ti와 Au 패키징된 pPPD 동물실험 실시를 통해 pPPD 동작 및 장기 생체 안정성 확보 : 2주 이상 뇌 삽입상태에서 pPPD 정상동작하고 동물 뇌에 생체 부작용이 없었음 / Ischemia 모델 시술을 통해 인위적으로 뇌의 부종을 만들어 뇌내부 압력이 상승하는 것을 확인함

- pPPD와 WPDT를 동물(쥐)에 전체 삽입하여 동작 실험실시를 통해 pPPD 센서 동작 및 WPDT 무선데이터 통신성능 확인 : 마취에서 깨어난 상태에서 일상생활 중 동물실험 실시하여 뇌압/뇌온도 데이터를 취득

- 다양한 생체전지용 전극 연구

(출처 : 보고서 요약서 3p)

Abstract ▼

IV. Result of the program
○ The development of core technology of micro multi(pressure, temperature, voltage) brain sensor based on Nano and MEMS for nano probe pin device

○ The development of platform technology of wireless power transmission and sensor data communication system for senso

IV. Result of the program
○ The development of core technology of micro multi(pressure, temperature, voltage) brain sensor based on Nano and MEMS for nano probe pin device

○ The development of platform technology of wireless power transmission and sensor data communication system for sensors inserted in brain.

○ Acquiring the fundamental technology which can help in detection and in cure of neural diseases

(출처 : SUMMARY 6p)

목차 Contents

• 표지 ... 1제 출 문 ... 2보고서 요약서 ... 3요 약 문 ... 4SUMMARY ... 6CONTENTS ... 7목차 ... 8제 1 장 연구개발과제의 개요 ... 9 제 1 절 연구개발 필요성 ... 9 제 2 절 연구개발 목표 및 내용 ... 13제 2 장 국내외 기술개발 현황 ... 17 제 1 절 국내외 기술동향 ... 17 제 2 절 국내외 연구동향 ... 22제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 32 제 1 절 pPPD 압력센서 개발 ... 32 제 2 절 PPD(Pin Probe Device) 및 패키징 ... 47 제 3 절 뇌센서용 WPDT(Wireless Power & Data Transmission) 시스템 ... 59 제 4 절 동물실험 ... 78 제 5 절 무선전력 공급기술 개발 ... 86 제 6 절 DPV(Differential Pulse Voltametry) 센서 구동회로 개발 ... 95 제 7 절 생체전지 연구 ... 106제 4 장 연구개발결과의 활용계획 ... 133제 5 장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보 ... 134제 6 장 참고문헌 ... 145끝페이지 ... 152