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NTIS 바로가기주관연구기관 | 고려대학교 Korea University |
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연구책임자 | 권오명 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-05 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201700014046 |
과제고유번호 | 1345237029 |
사업명 | 이공학개인기초연구지원 |
DB 구축일자 | 2017-11-18 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201700014046 |
1. 연구 목표
평형점 주사탐침 열현미경 (Null-Point Scanning Thermal Microscope: NP SThM)은 공기를 통한 열전달에 의한 신호의 왜곡 없이, 시편의 표면 특성에 상관없이, 시편의 온도분포를 전혀 교란하지 않으며, 높은 해상도로 (~10 nm) 온도와 열물성 분포를 정량적으로 계측할 수 있는 이상적인 방법이다. 하지만 NP SThM을 실제로 구현하기 위해서는 초고감도의 SThM 탐침이 필요하다. 본 연구에서는 NP SThM을 실제로 구현할 수 있는 초감도 탐침을 개발하고 이를 활용하여 차세대
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