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NTIS 바로가기주관연구기관 | 고려대학교 Korea University |
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연구책임자 | 최병호 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-05 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201700014238 |
과제고유번호 | 1345236394 |
사업명 | 이공학개인기초연구지원 |
DB 구축일자 | 2017-11-25 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201700014238 |
1. 연구목표
ㅇ in-situ 플라즈마/전기장 ALD 장비를 이용한 고분자 저온형 ALD 박막공정개발 [1차년도]
ㅇ 디스플레이용 투명 내스크래치 고분자 재료의 저온 ALD 박막 공정개발 [2차년도]
ㅇ 패키징용 semi-crystalline barreir polyolefiln 필름의 상온 ALD 박막공정개발 [3차년도]
2. 개발내용 및 결과
ㅇ 저온형 ALD공정을 이용한 고분자 소재 나노코팅기술개발
- 저온형 고분자 나노코팅증착기술을 위한 Home-made ALD 장비개발 (cylinde
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