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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한양대학교 HanYang University |
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연구책임자 | 박진성 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-11 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201700014403 |
과제고유번호 | 1345239243 |
사업명 | 이공학개인기초연구지원 |
DB 구축일자 | 2017-11-13 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201700014403 |
□ 비수계 고속 분자층 증착법 유기 소재 및 공정 개발
: 신규 precursor를 사용하여 기존 대비 4배 이상 빠른 성막속도를 가진 분자층 증착법 유기 소재 및 공정을 개발하였고, 공정 최적화를 통하여 고속 분자층 유기 소재 및 공정을 확보하였음.
□ ALD Al2O3/MLD Alucone 하이브리드 박막봉지 소재 개발 및 내투습 및 기계적 내구성 평가
: 고속 분자층 Alucone 박막소재와 ALD Al2O3를 사용하여 유/무
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