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[국가R&D연구보고서] IT·ET 융복합 산업 유기금속화합물 및 소자화 공정 개발
Development of Organometallics and Device Fabrication for IT·ET Convergence 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국화학연구원
Korea Research Institute of Chemical Technology
연구책임자 정택모
참여연구자 김창균 , 박보근 , George. S , 강성구 , 김효숙 , 정은애 , 한성호 , 이가연 , 이선주 , 김다혜 , 조윤경 , 남지현 , 이영국 , 김창해 , 한정환 , 김건환 , 이창완 , 최지운 , 김효연 , Raphael E. , 김동준 , 박상희 , 고종범 , 염혜인 , 남윤용 , 이승희 , 이선숙 , 권슬아
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2016-12
과제시작연도 2016
주관부처 미래창조과학부
Ministry of Science, ICT and Future Planning
연구관리전문기관 한국화학연구원
Korea Research Institute of Chemical Technology
등록번호 TRKO201700017364
과제고유번호 1711048147
사업명 한국화학연구원연구운영비지원
DB 구축일자 2017-11-25
DOI https://doi.org/10.23000/TRKO201700017364

초록

1. 연구목표
1) 최종목표
- 반도체/디스플레이 산업용 신규 유기금속화합물 개발
- 개발 유기금속화합물의 반도체/디스플레이/배선공정용 박막 증착 (원자층증착, 화학기상증착 및 용액공정) 및 소자화 기술 개발
- 에너지 생산/저장 산업용 신규 유기금속화합물 및 응용 기술 개발

2) 2016년도 목표(총 5년중 2년차)
- ALD/CVD공정, 용액공정용 신규 유기금속화합물 개발
- 개발 유기금속화합물의 반도체/디스플레이/배선공정용 박막 증착 공정 개발
- 개발 유기금속화합물의 메모리/

목차 Contents

  • 표지 ... 12016년 주요사업 연구결과 요약서 ... 21. 연구과제 개요 ... 42. 연구목표 ... 6 가. 최종 연구목표 ... 6 나. 당해 연도 연구목표 ... 63. 주요 연구내용 ... 7 가. 과년도 추진경과 ... 7 나. 당해 연도 주요 연구내용 ... 74. 주요 연구개발 결과(연구개발목표의 달성도) ... 405. 연구개발의 성과 ... 41 가. 과제별 기술성취수준 ... 41 나. 정성적 성과 ... 41 다. 정량적 성과(건수/금액) ... 416. 연구성과 활용계획 ... 437. 기대효과 ... 44 가. 과학기술적 관점 ... 44 나. 경제적 관점 ... 44 다. 사회적 관점 ... 45첨부1) 차년도 주요사업 연구계획 요약서 ... 46첨부2) 중장기 연구개발로드맵 ... 51끝페이지 ... 51

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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