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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)에이피시스 |
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연구책임자 | 최경수 |
참여연구자 | 고찬규 , 차우병 , 강지훈 , 임훈재 , 박현우 , 이무상 , 이원경 , 김태희 , 정찬옥 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-02 |
주관부처 | 환경부 Ministry of Environment |
등록번호 | TRKO201800000302 |
DB 구축일자 | 2018-11-03 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201800000302 |
□ 최종목표
반도체 및 LCD공정용 PFCs 플라즈마 처리방식 및 복합후공정 방식들과 연계하여 25 Nm3/hr급과 50 Nm3/hr급 PFCs 처리용 플라즈마 장비의 기술을 개발하여 공정 최적화와 가격 경쟁력을 높이고, 실제 공정에서 사용 가능하도록 데모 테스트를 실시함과 동시에 관련 반도체/LCD 社 등의 사업화를 추진함.
□ 개발내용 및 결과
〇 데모테스트 성공 및 사업화
국내외 영업사와 협력하여 국내외 4건의 데모테스트를 수행하여 지속적인 연구개발과 장비개선
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