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NTIS 바로가기주관연구기관 | 코캣 |
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연구책임자 | 장원철 |
참여연구자 | 가명진 , 김진영 , 김유성 , 전홍주 , 최유강 , 이주헌 , 문규동 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-05 |
주관부처 | 환경부 Ministry of Environment |
과제관리전문기관 | 환경부 Ministry of Environment |
등록번호 | TRKO201800000464 |
DB 구축일자 | 2018-11-03 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201800000464 |
□ 최종목표
중전기 기기 이용 및 반도체제조 공정관련 SF6 배출원 및 특성평가를 통해 회수 및 막분리 (흡착분리) 공정을 통해 재이용하고 최종적으로는 촉매 반응을 적용한 집결식 대용량 분해처리시스템의 개발과 함께 고활성, 고내 구성의 촉매를 개발한다. 그리고 이로부터 본 기술의 타당성 평가를 통해 CDM사업화 방안을 확인한다.
: 분리 효율성 SF6 95% 이상/촉매 분해효율 90% 이상 및 500 Nm³/hr이상 혼합가스 처리/CDM 사업화 방안 구축
□ 개발내용 및
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