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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)플라즈마텍 |
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연구책임자 | 황유성 |
참여연구자 | 윤규호 , 최호선 , 하민수 , 기동호 , 안해용 , 이영윤 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-05 |
주관부처 | 환경부 Ministry of Environment |
등록번호 | TRKO201800000610 |
DB 구축일자 | 2018-11-10 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201800000610 |
□ 최종목표
LCD 산업의 SF6 처리용 아크플라즈마 복합후처리공정 기술을 개발하고 장비의 적용성 및 내부식성, 안정성, 안전성 확보를 위한 실장 적용 Test를 실시, 시스템 최적화를 통해 사업화를 실현하며 연구 개발 활동을 통한 기술경쟁력을 확보하여 사업화 진행 함.
□ 개발내용 및 결과
• 해당분야 120Nm3/hr Plasma Torch 개발
• 100kW급 저전력, 고효율 Power Supply 개발
• NOx 저감기술 개발
• 열에너지 흡수장치 개발
• 고효율 습식 전기집진장치
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