초록 ▼

IV. 연구개발결과
1. S0S용 6인치급 대형 사파이어 단결정 성장기법 연구
：기포 및 결정결함이 없는 최대 94mm 길이의 로드잉곳 성장기술 개발 완료하여 현재 고객사에 샘플 제출하여 qual. 진행 중
2. Φ75급 R축 반구형 사파이어 개발
：Hot-zone 시스템 최적화를 진행하여 성장기술을 개발하였으나 lineage, 기포제어가 이루어지지 않아 R축 반구형 사파이어 성장은 광학용 제품적용에 적합하지 않음을 확인
3. Φ75 반구형 사파이어 가공기술 개발
：Scooping, gri

IV. 연구개발결과
1. S0S용 6인치급 대형 사파이어 단결정 성장기법 연구
：기포 및 결정결함이 없는 최대 94mm 길이의 로드잉곳 성장기술 개발 완료하여 현재 고객사에 샘플 제출하여 qual. 진행 중
2. Φ75급 R축 반구형 사파이어 개발
：Hot-zone 시스템 최적화를 진행하여 성장기술을 개발하였으나 lineage, 기포제어가 이루어지지 않아 R축 반구형 사파이어 성장은 광학용 제품적용에 적합하지 않음을 확인
3. Φ75 반구형 사파이어 가공기술 개발
：Scooping, grinding용 장비를 설계 및 제작하였고 공정기술을 개발하였으며, polishing 품질 개선을 위하여 단계별로 사용되는 다이아몬드 파우더의 크기를 최적화 함.
4. 150X100mm 평판형 사파이어 가공기술 개발
：웨이퍼 가공용 대형 장비를 이용하여 가공한 결과 150X75mm 가공 결과보다 우수한 품질을 확보하였음.

(출처 : 요약문 3p)

Abstract ▼

IV. Results
1. Research of 6-inch Grade Large Size Sapphire Crystal Growth for SOS substrates : Development of manufacturing technology of 6-inch rod ingot (max. 94mm long, crack-free & bubble-free) has been successful done. Its samples were submitted to customers and currently quality tests are

IV. Results
1. Research of 6-inch Grade Large Size Sapphire Crystal Growth for SOS substrates : Development of manufacturing technology of 6-inch rod ingot (max. 94mm long, crack-free & bubble-free) has been successful done. Its samples were submitted to customers and currently quality tests are ongoing.

2. Development of r-axis Sapphire Hemisphere as Φ75 Processing : In spite of developing growth technology through optimization of the hot-zone system, control over defects such as lineage and bubble was not realized. Therefore, it is confirmed that r-axis hemisphere sapphire growing technology is unsuitable for optical products application.

3. Development of Sapphire Hemisphere as Φ75 Processing : Designed and produced the scooping tool and the grinding tool. Developed their processing technologies. Optimized the size of diamond powder used in each step on the behalf of polishing quality improvement.

4. Development of Flat Sapphire as 150X100mm Processing Technology : As a result of utilizing the large volume wafer processing equipment, it is confirmed that the better quality output than 150X75mm was secured.

(출처 : SUMMARY 7p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제 출 문 ... 2
• 요 약 문 ... 3
• SUMMARY ... 7
• CONTENTS ... 11
• 목차 ... 13
• 제1장 서론 ... 15
• 제1절 연구개발 개요 ... 15
• 제2절 중요성 및 파급효과 ... 25
• 제2장 국내외 기술개발 현황 ... 32
• 제1절 국내외 기술현황 ... 32
• 제2절 국내외 시장현황 ... 35
• 제3절 국내외 경쟁기관 현황 ... 36
• 제4절 국내외 지식재산권 현황 ... 37
• 제3장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 46
• 제1절 자외선급 대형 사파이어 제조 ... 46
• 1. SOS용 6인치급 대형 사파이어 제조기술 개발 ... 46
• 2. UV급 사파이어 성장기술 개발 ... 69
• 3. φ75급 반구형 사파이어 성장기술 개발 ... 73
• 4. φ75 반구형 사파이어 가공기술 개발 ... 86
• 5. 150×100mm 평판형 사파이어 가공기술 개발 ... 94
• 제2절 사파이어의 군수용 특성 연구 및 무기체계 적용성 평가 ... 101
• 1. 사파이어 기계적 특성 및 열특성 평가 ... 101
• 2. 사파이어 광학 특성 시험/평가 ... 119
• 3. 사파이어 동적 특성 시험/평가 ... 136
• 4. 사파이어 후처리 공정 기술 및 체계 적용성 평가 기술 ... 158
• 제4장 연구개발 목표 달성도 및 대외기여도 ... 171
• 제1절 자외선급 대형 사파이어 제조 ... 171
• 제2절 사파이어의 군수용 특성 연구 및 무기체계 적용성 평가 ... 172
• 제5장 연구개발결과의 활용계획 ... 175
• 제1절 자외선급 대형 사파이어 제조 ... 175
• 제2절 사파이어의 군수용 특성 연구 및 무기체계 적용성 평가 ... 175
• 제6장 참고문헌 ... 176
• 끝페이지 ... 178