최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 충북대학교 Chungbuk National University |
---|---|
연구책임자 | 박형렬 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-11 |
과제시작연도 | 2016 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201800002758 |
과제고유번호 | 1345252423 |
사업명 | 이공학개인기초연구지원 |
DB 구축일자 | 2018-04-14 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201800002758 |
지난 1년 동안 본 연구의 핵심이 되는 시료인 나노 틈 구조물 제작을 집중적으로 수행하였다. 특히, 본 연구과제에서는 기존의 원자층 리소그래피 공정을 개선하는 방안을 연구하여 왔다. 개선된 사항은 두 번째 금속 증착에서 adhesion layer로 Cr을 사용하는 것에 큰 차이가 있다. 기존 공정에서 첫 번째 금속 증착에서 adhesion layer로 Cr을 사용하는 것은 같지만 두 번째 금속 증착에서 adhesion layer를 사용하면, peel-off 과정에서 돌출된 두 번째 금속과 유전물질 사이는 강한 접착력으로 떨어지지 않
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.