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NTIS 바로가기주관연구기관 | 인천대학교 University Of Incheon |
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연구책임자 | 진성훈 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-07 |
과제시작연도 | 2016 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201800003936 |
과제고유번호 | 1711040623 |
사업명 | 개인연구지원 |
DB 구축일자 | 2018-04-28 |
키워드 | 열 모세관 유동.온도 구배.비휘발성 메모리.멤돌이 전류.thermocapillary flow.temperature gradient.nonvolatile memory.eddy current. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201800003936 |
연구의 목적 및 내용
본 연구는 메모리 소자기능을 활용한 두 단자 기반의 TcEP 개발을 통한 극소형화 공정이 가능하며, 마이크로웨이브 기반의 비접촉식 TcEP 공정 개발을 통한 대면적화를 목적으로 하고 있다. 뿐만 아니라, Si을 포함한 신규 열모세관 감광막개발 및 공정 최적화를 통한 고해상도 (D >10 /μm)의 TcEP 공정 확보를 목표로 한다. 끝으로 순수한 금속형 탄소 나노튜브만 남기는 공정개발도 또 다른 연구 목표이다. 본 연구에서는 마이크로 웨이브 및 비휘발성 소자 구조를 기반으로 고정세 TcEP를 위한 요소 기
Purpose&contents
This study aims at miniaturization through the development of two terminals based on TcEP using memory device function and the development of microwave based noncontact TcEP process. In addition, we aim to secure high resolution(D> 10 / μm) TcEP process through development of nov
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