초록 ▼

연구의 목적 및 내용
1. CD로부터 1μm 이하의 패턴을 가지는 폴리우레탄 스탬프 제작
2. 소프트 리소그래피 방식을 이용해 1μm 이하의 패턴을 가지는 유기반도체 필름 제작, 재연성 있는 유기박막트랜지스터 제조

연구결과
1. CD 표면의 Protecting Layer를 제거한 후, Nanoimprinting 방법을 적용하여, 680 nm 폭의 선형 패턴이 650 nm 간격으로 새겨져 있는 스탬프 제작에 성공.
2. Substrate와 스탬프 사이에 유기 반도체 용액을 가두어 결정을 성장시키는 소

연구의 목적 및 내용
1. CD로부터 1μm 이하의 패턴을 가지는 폴리우레탄 스탬프 제작
2. 소프트 리소그래피 방식을 이용해 1μm 이하의 패턴을 가지는 유기반도체 필름 제작, 재연성 있는 유기박막트랜지스터 제조

연구결과
1. CD 표면의 Protecting Layer를 제거한 후, Nanoimprinting 방법을 적용하여, 680 nm 폭의 선형 패턴이 650 nm 간격으로 새겨져 있는 스탬프 제작에 성공.
2. Substrate와 스탬프 사이에 유기 반도체 용액을 가두어 결정을 성장시키는 소프트리소그래피 방법을 적용하여, 680 nm의 선폭을 가지는 유기반도체 Nanowire를 성장. 전극을 증착해 균일한 트랜지스터 어레이 형성. 평균 2.04 cm2/Vs의 높은 전하이동도를 보이는 유기박막트랜지스터 제조에 성공.

연구결과의 활용계획
▶ 본 연구를 통해 확보된 유기박막트랜지스터용 패터닝 공정 기술은 디스플레이, 인쇄, 고분자, 섬유 공정 등 수 십년간 국내에서 축적된 기술로 제작될 수 있어 기존의 반도체, 디스플레이 등 전기 산업 뿐 아니라, 고기능성 섬유, 대면적 전자회로 인쇄 산업에 새로운 성장 동력을 부여할 수 있는 융합(Integration)형 발전을 가능케 할 것임.
▶ 특히, 본 연구에서 개발된 공정 기술들은 박막트랜지스터 뿐 아니라 태양전지, 발광다이오드, 로직/메모리 등 모든 유기전자소자의 패턴 인쇄에 적용할 수 있어서 미래 대한민국 경제를 견인할 디스플레이, 에너지 분야 외에도 조명, 휴대용 센서 등의 기술 발전에 크게 기여할 수 있음.
▶ 본 연구수행을 통해 미세 패터닝이 된 고성능 유기박막트랜지스터를 개발하게 되면 전자소자를 제작하는 공정 상의 에너지사용의 감소와 재료절감효과로 인해 탄소배출을 줄이는데 기여할 것
▶ 또한 본 연구의 성과를 통해 화학, 물리학, 화학공학, 고분자공학, 전자공학 등의 학문에 적용될 수 있어서 여러 분야의 학술적 발전에 적지 않은 영향을 끼칠 것으로 사료됨.

(출처 : 요약문 4p)

Abstract ▼

Purpose& contents
We demonstrated a cost-effective method to prepare nanopatterned master molds for the fabrication of high-performance nanowire OFETs. We repurposed commercially available compact discs (CDs) as master molds because they already have linear nanopatterns on their surface.

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Purpose& contents
We demonstrated a cost-effective method to prepare nanopatterned master molds for the fabrication of high-performance nanowire OFETs. We repurposed commercially available compact discs (CDs) as master molds because they already have linear nanopatterns on their surface.

Result
1. We used the linear nanopatterns on a CD to repurpose the CD as a master mold for fabricating TIPS-PEN nano wires (NWs). From the nanopatterns on the CD surface, we replicated polyurethane acrylate (PUA) templates which are robust and flexible until submicrometer scale patterns.
2. Using the PUA templates, TIPS-PEN NW patterns were fabricated by soft lithography method. In the PUA template, linear patterns replicated from the CD and their corresponding height profiles were confirmed (figure 2b). TIPS-PEN NWs were grown on this template as a result of capillary force-assisted attraction between the template and substrate because the intervening solvent acted as an adhesive layer.
3. When calculating μ_FET sof NW OFETs, an effective channel width, W_eff, of W´ 680/(680+650), was used to reflect the actual channel width occupied by the NWs. In transfer characteristics, an average μ_FET of TIPS-PEN NW-based OEFTs were 2.04±0.24cm²V^-1s^-1for 10devices.

Expected Contribution
Our results suggest that commercially available CDs could be used to provide nanopatterns for various lithographic applications at low cost.

(출처 : SUMMARY 5p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 목차 ... 2
• 연구계획 요약문 ... 3
• 연구결과 요약문 ... 4
• 한글요약문 ... 4
• SUMMARY ... 5
• 연구내용 및 결과 ... 6
• 1. 연구개발과제의 개요 ... 6
• 2. 연구수행 내용 및 결과 ... 7
• 3. 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 10
• 4. 연구결과의 활용계획 ... 10
• 5. 주관연구책임자 대표적 연구실적 ... 11
• 6. 참고문헌 ... 11
• 7. 연구성과 ... 12
• 8. 국가과학기술지식정보서비스에 등록한 연구시설‧장비 현황 ... 14
• 9. 기타사항 ... 14
• 별첨1 대 표 연 구 성 과 ... 15
• 별첨2 세부 목표 관련 증빙 ... 23
• 끝페이지 ... 23