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NTIS 바로가기주관연구기관 | 홍익대학교 Hongik University |
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연구책임자 | 백광현 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-06 |
과제시작연도 | 2016 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201800004076 |
과제고유번호 | 1345248517 |
사업명 | 이공학개인기초연구지원 |
DB 구축일자 | 2018-04-28 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201800004076 |
본 과제는 무분극 a-면 (11-20) 및 반분극 (11-22)면 질화갈륨(GaN)의 높은 수소 친화도를 이용하여 고감도 수소가스 센서를 개발하는 것을 목표로 하였음. 질화갈륨의 결정면 방향에 따른 수소 친화도에 대한 특성과 수소 농도 변화에 따른 수소 감도 특성을 연구하였음. 또한 질화갈륨 박막 위에 수용액 성장법을 통하여 ZnO 및 금속 산화물을 성장하여 수소 가스에 대한 반응성을 연구하였음.
I. 무분극 및 반분극 질화갈륨 기반 Schottky diode 수소가스센서 제작 및 수소 반응성 연구
무분극 (11-
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