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NTIS 바로가기주관연구기관 | 연세대학교 Yonsei University |
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연구책임자 | 심우영 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-05 |
과제시작연도 | 2016 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201800004911 |
과제고유번호 | 1345248464 |
사업명 | 이공학개인기초연구지원 |
DB 구축일자 | 2018-05-05 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201800004911 |
1. 연구의 개요
원자힘 현미경(atomic force microscopy, AFM)은 캔티레버(cantilever)와 팁(tip)으로 이루어진 1개의 탐침과 광학적 측정시스템을 바탕으로 표면의 지형에 따라 탐침의 단차를 읽음으로써 최대 수십 μm2를 이미지화 시키는 기술임. 본 연구에서는 정전용량 변화감지 방식의 표면이미징 기술을 개발하여 지난 40여년간 유지되어 왔던 탐침의 캔틸레버를 제거하여 팁만으로 이루어진 다중팁 방식의 대면적 주사탐침 현미경 기술을 구현함.
• 2000년대 초반에 대면적 캔틸레버/팁어레이와
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