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NTIS 바로가기주관연구기관 | 충남대학교 Chungnam National University |
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연구책임자 | 조영준 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-11 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO201800006620 |
과제고유번호 | 1345239884 |
사업명 | 이공학개인기초연구지원 |
DB 구축일자 | 2018-05-12 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201800006620 |
본 과제에서는 단원자층 증착법을 이용하여 CIGS solar cell의 투명전극(TCO)과 buffer층을 증착하고, 투명전극과 buffer층의 광학적 특성 및 열적 안정성을 연구하였다.
단원자층 증착법(atomic layer deposition – ALD)은 저진공 상태(약 10-3 torr)에서 진행되어, 비진공상태에서 진행되는 Chemicla Bath Deposition (CBD)방식에 비해 공정의 연속성을 확보할 수 있고, 박막의 균일도(uniformity)가 우수하고, 박막 두께 제어가 용이하다.
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