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NTIS 바로가기주관연구기관 | 대진대학교 |
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연구책임자 | 박성호 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-06 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201800007224 |
과제고유번호 | 1345237973 |
사업명 | 이공학개인기초연구지원 |
DB 구축일자 | 2018-05-19 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201800007224 |
총 36개월 간 진행한 연구 결과를 1, 2, 3 차년으로 구분하여 개발내용과 주요 착안점을 정리하였고, 당면한 문제를 해결하기 위한 연구방향 전환과정을 요약 정리하였다.
○ 1차년도
- 전기스프레이 분자장치 개발
:액상전구체의 나노드롭(nanodrop)을 위한 전기스프레이 분사장치를 확보. 400도의 기판위에 분사하여 나노입자 및 박막을 구현할 수 있었음.
- RF 플라즈마를 이용한 나노입자 제작 챔버 개발
:RF 플라즈마 소스를 이용하여 나노입자 제작을 위한 챔버를 개발함. 초기 모델로 1~10
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