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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)아이엠티 |
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연구책임자 | 이종명 |
참여연구자 | 김지회 , 조성호 , 이재원 , 김영기 , 고현식 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-07 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201800012436 |
과제고유번호 | 1425073306 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발 |
DB 구축일자 | 2018-07-14 |
키워드 | 유기발광.마스크.건식 세정.레이저 세정.디스플레이. |
□ 개발목표
- 계획 :
○ 대면적 AMOLED 마스크용 레이저 세정 공정 기술 개발
○ 대면적 AMOLED 마스크용 레이저 세정시스템 개발
- 실적 :
1. 불량률 1%이하, 마스크 Damage free, 공정 최적화, Hybrid 세정 기술 개발
2. 마스크 세정용 레이저 및 광학계 설계/제작
3. 시스템 제어기 설계 및 제작
3. OLED Mask 레이저 세정시스템 Prototype 및 Engineering Sample 제작 완료(국내 L사에서 현장테스트 진행 중)
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