목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제 출 문 ... 2
• 요 약 서 (초 록) ... 3
• 목차 ... 4
• 제 1 장 개발기술의 개요 ... 5
• 제 1 절 개발 필요성 ... 5
• 제 2 절 관련기술 현황 ... 5
• 1. 국내·외 관련기술의 현황 ... 5
• 제 2 장 개발목표 및 개발내용 ... 6
• 제 1 절 기술개발 목표 ... 6
• 1. 1차년도 개발목표 ... 6
• 2. 2차년도 개발목표 ... 6
• 제 2 절 세부 개발내용 및 방법 ... 6
• 1. 초정밀 초대형 FPD Glass용 에어베어링 스테이지 개발 ... 6
• 2. Chuck Plate 평탄도. ... 36
• 3. 고속 Line Scan UV TDI Camera 개발 ... 38
• 4. Line Scan Camera용 고배율 UV 광학계 개발 ... 42
• 5. UV 조명 제어기술 개발 ... 45
• 6. 액티브 댐핑 진동 제어 기술 ... 46
• 7. 0.4um 검출력 테스트 ... 49
• 8. 280kHz Line Rate 구현 ... 52
• 9. 4096Line 검출 이미지 ... 53
• 10. 전체 실물사진 및 기타 실물사진 ... 54
• 11. OLED Pattern 고속 검사 알고리즘 개발 ... 57
• 12. OLED PAD 검사 알고리즘 개발 ... 58
• 13. OLED 결함 자동분류기능 개발 ... 61
• 14. Piezo & Laser Sensor를 이용한 실시간 Auto Focus 개발 ... 67
• 제 3 장 성과요약 및 기대효과 ... 69
• 제 1 절. 성과 및 독창성 핵심기술 ... 69
• 1. 성과 ... 69
• 2. 독창성 핵심기술 ... 69
• 제 2 절. 기대효과 ... 70
• 1. 기술개발 효과. ... 70
• 2. 개발기술 활용방안 ... 70
• 제 3 절. 양산 및 판로 확보 계획 ... 70
• 1. 제품 양산계획 ... 70
• 2. 판로확보 및 마케팅 계획 ... 70
• 끝페이지 ... 71