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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)무진산업 |
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연구책임자 | 신정승 |
참여연구자 | 임채정 , 한신희 , 정원모 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-11 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201800012961 |
과제고유번호 | 1425062242 |
사업명 | 중소기업상용화기술개발 |
DB 구축일자 | 2018-12-01 |
키워드 | De-scum.plasma.vacuum.PCB.Wet Descum. |
□ 개발목표
- 계획 : 현존설비 대비 생산성 30~40% 향상될 수 있는 1매 처리 진공 Plasma Descum 설비의 개발 및 공급
- 실적 : 플라즈마 공정시간 기존대비 40초 단축하여 생산성 30%이상 향상
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 균일성(Uniformity)
- 계획 : 10%
- 실적 : 10%이내 uniformity 달성
2. 기판온도제어
- 계획 : +/-2 도
- 실적 : +/- 10도(기판표면온도), 챔버내부온도 +/-2도
3. 박판처리
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