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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)엔씨디 |
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연구책임자 | 신웅철 |
참여연구자 | 백민 , 최규정 , 최재혁 , 장동규 , 김정훈 , 성낙진 , 장효식 , 류성수 , 정현철 , 이화준 , 김빛나 , 박희주 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-07 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201800013027 |
과제고유번호 | 1425061267 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발 |
DB 구축일자 | 2018-12-01 |
키워드 | 결정질 실리콘 태양전지.표면재결합.고효율.고양산성.산화물. |
□ 개발목표
- 계획 : 빠른 처리속도의 신개념 원자층 증착공정 장비 개발과 고양산성, 고품질의 박막증착 기술 개발
- 실적 : 빠른 처리속도의 신개념 원자층 증착공정 장비 개발과 고양산성, 고품질의 박막증착 기술 개발
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. Cycle Time
- 계획 : 5 sec 이하
- 실적 : 5 s
2. Throughput @30nm
- 계획 : 400 ea/hr
- 실적 : 400 ea/hr
3. Uniformity<
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